＞ 晶圓倒角單元采用側(cè)向進(jìn)給磨削原理，兼容中?4'' / ?6'' / ?8''（Φ100~Φ200）晶圓倒角加工

＞ 設(shè)備配有精密在線測(cè)量厚度儀單元和CCD視覺(jué)模組，加工時(shí)先測(cè)量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測(cè)量直徑，真圓度，直線邊到圓心尺寸，倒角邊尺寸

＞ 設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能，滿足各類(lèi)工藝需求

＞ 設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺(jué)定位和測(cè)厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn)

＞ 全自動(dòng)上下料和不良品下料工位。可進(jìn)行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工

＞  配置了觸摸式液晶顯示器，提高了操作便利性。控制畫(huà)面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫(huà)面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作